抄録
Isotope engineering of silicon has been employed towards development of silicon-based quantum computers and complete modeling of nano-CMOS fabrication processes towards development of next-generation technology computer aided design (TCAD) systems.
本文言語 | English |
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論文番号 | 4418931 |
ページ(範囲) | 303-306 |
ページ数 | 4 |
ジャーナル | Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM |
DOI | |
出版ステータス | Published - 2007 12月 1 |
イベント | 2007 IEEE International Electron Devices Meeting, IEDM - Washington, DC, United States 継続期間: 2007 12月 10 → 2007 12月 12 |
ASJC Scopus subject areas
- 電子材料、光学材料、および磁性材料
- 凝縮系物理学
- 電子工学および電気工学
- 材料化学