Low-pressure nonequilibrium plasma for a top-down nanoprocess

Toshiaki Makabe, Takashi Yagisawa

研究成果: Article査読

6 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Low-pressure nonequilibrium plasma for a top-down nanoprocess」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy