MEMS triaxial gyroscope using surface and sidewall doping piezoresistors

Hidetoshi Takahashi, Kohsuke Abe, Tomoyuki Takahata, Isao Shimoyama

研究成果: Article査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「MEMS triaxial gyroscope using surface and sidewall doping piezoresistors」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds