Micro-hardness, microstructures and thermal stability of (Ti,Cr,Al,Si)N films deposited by cathodic arc method

H. Ezura, K. Ichijo, H. Hasegawa, K. Yamamoto, A. Hotta, T. Suzuki

研究成果: Article査読

33 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Micro-hardness, microstructures and thermal stability of (Ti,Cr,Al,Si)N films deposited by cathodic arc method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy