Micro water flow measurement using a temperature-Compensated MEMS piezoresistive cantilever

Romain Pommois, Gaku Furusawa, Takuya Kosuge, Shun Yasunaga, Haruki Hanawa, Hidetoshi Takahashi, Tetsuo Kan, Hisayuki Aoyama

研究成果: Article査読

フィンガープリント 「Micro water flow measurement using a temperature-Compensated MEMS piezoresistive cantilever」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science