Modeling of dc magnetron plasma for sputtering: Transport of sputtered copper atoms

T. Yagisawa, T. Makabe

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Modeling of dc magnetron plasma for sputtering: Transport of sputtered copper atoms」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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