Modeling of physical etching based on the two-dimensional velocity distributions of ions and fast neutrals using the Boltzmann equation

Tadashi Tokonami, Toshiaki Makabe

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Modeling of physical etching based on the two-dimensional velocity distributions of ions and fast neutrals using the Boltzmann equation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy