Near-field-optical-probe induced resistance-change-detection (NF-OBIRCH) method for identifying defects in Al and TiSi interconnects

K. Nikawa, T. Saiki, S. Inoue, M. Ohtsu

研究成果: Article査読

フィンガープリント

「Near-field-optical-probe induced resistance-change-detection (NF-OBIRCH) method for identifying defects in Al and TiSi interconnects」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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