Nonlinear vibration of electrostatic MEMS under DC and AC applied voltage

Hikaru Takamatsu, Toshihiko Sugiura

研究成果: Conference contribution

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Nonlinear vibration of electrostatic MEMS under DC and AC applied voltage」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science