Numerical analysis of ion dynamics in RF ICP discharge

K. Nishida, S. Mattei, W. Kobayashi, J. Lettry, A. Hatayama

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント 「Numerical analysis of ion dynamics in RF ICP discharge」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy