Numerical simulation of the discharge in d.c. magnetron sputtering

Eiji Shidoji, Nobuhiko Nakano, Toshiaki Makabe

研究成果: Conference article査読

24 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Numerical simulation of the discharge in d.c. magnetron sputtering」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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