Optical diagnostics for plasma-surface interaction in CF4/Ar radio-frequency inductively coupled plasma during Si and SiO2 etching

Y. Miyoshi, M. Miyauchi, A. Oguni, T. Makabe

研究成果: Article査読

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Optical diagnostics for plasma-surface interaction in CF4/Ar radio-frequency inductively coupled plasma during Si and SiO2 etching」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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