Out-of-plane actuation with a sub-micron initial gap for reconfigurable terahertz micro-electromechanical systems metamaterials

Akihiro Isozaki, Tetsuo Kan, Hidetoshi Takahashi, Kiyoshi Matsumoto, Isao Shimoyama

研究成果: Article査読

12 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Out-of-plane actuation with a sub-micron initial gap for reconfigurable terahertz micro-electromechanical systems metamaterials」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy