Oxidation resistance and hardness of TiAlSiN/CrAlYN multilayer films deposited by the arc ion plating method

T. Mori, M. Noborisaka, T. Watanabe, T. Suzuki

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Oxidation resistance and hardness of TiAlSiN/CrAlYN multilayer films deposited by the arc ion plating method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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