Phasespace modelling of a radiofrequency plasma interacting with surfaces

Toshiaki Makabe, Jun Matsui, Nobuhiko Nakano

研究成果: Article査読

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Phasespace modelling of a radiofrequency plasma interacting with surfaces」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds