Properties of amorphous carbon films synthesized by atmospheric pressure glow plasma CVD method

Hideyuki Kodama, Satoshi Iizumi, Masaki Nakaya, Akira Shirakura, Atsushi Hotta, Tetsuya Suzuki

研究成果: Article査読

8 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Properties of amorphous carbon films synthesized by atmospheric pressure glow plasma CVD method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds