Radio frequency GDOES depth profiling analysis of a B-doped diamond film deposited onto Si by microwave plasma CVD

K. Shimizu, Y. Einaga, A. Fujishima, K. Ohnishi

研究成果: Article査読

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Radio frequency GDOES depth profiling analysis of a B-doped diamond film deposited onto Si by microwave plasma CVD」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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