Radiofrequency electron swarm transport in reactive gases and plasmas

K. Maeda, T. Makabe

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抄録

This paper gives a historical review of the development of radiofrequency (RF) electron swarm from a theoretical point of view. Also the recent progress of the direct numerical procedure (DNP) for solving the Boltzmann equation will be discussed with some typical examples of the temporally modulated velocity distribution in Ar and HCl in an RF field. The significance of DNP will be demonstrated for an RF swarm in the frequency range from MHz to GHz at strong fields.

本文言語English
ページ(範囲)61-69
ページ数9
ジャーナルPhysica Scripta
1994
T53
DOI
出版ステータスPublished - 1994 1月 1

ASJC Scopus subject areas

  • 原子分子物理学および光学
  • 数理物理学
  • 凝縮系物理学

フィンガープリント

「Radiofrequency electron swarm transport in reactive gases and plasmas」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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