Sputter growth of chalcogenide superlattice films for future phase change memory applications

Yuta Saito, Kirill V. Mitrofanov, Kotaro Makino, Noriyuki Miyata, Paul Fons, Alexander V. Kolobov, Junji Tominaga

研究成果: Conference contribution

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Sputter growth of chalcogenide superlattice films for future phase change memory applications」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science