Study of beam divergence of a low-energy (1–3 keV) ion source

Kiyoshi Yatsu, Shinichi Aoki, Akira Horie, Syoich Miyoshi, Kanzi Ōta, Kunihiko Okano, Nobuyuki Inoue, Taijiro Uchida

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本文言語English
ページ(範囲)1071
ページ数1
ジャーナルJapanese journal of applied physics
22
6R
DOI
出版ステータスPublished - 1983 6
外部発表はい

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