Study of the structure in rf glow discharges in SiH4/H 2 by spatiotemporal optical emission spectroscopy: Influence of negative ions

Fumiyoshi Tochikubo, Akira Suzuki, Shigeru Kakuta, Yuko Terazono, Toshiaki Makabe

研究成果: Article査読

67 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Study of the structure in rf glow discharges in SiH<sub>4</sub>/H <sub>2</sub> by spatiotemporal optical emission spectroscopy: Influence of negative ions」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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