Study on sputtered a-Si:H for micro optical diffusion sensor using laser-induced dielectrophoresis

Makoto Kamata, Kan Yamada, Yoshihiro Taguchi, Yuji Nagasaka

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Study on sputtered a-Si:H for micro optical diffusion sensor using laser-induced dielectrophoresis」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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