Synthesis of transparent and hard SiOC(-H) thin films on polycarbonate substrates by PECVD method

Mayui Noborisaka, Hideyuki Kodama, So Nagashima, Akira Shirakura, Takahiro Horiuchi, Tetsuya Suzuki

研究成果: Article査読

16 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Synthesis of transparent and hard SiOC(-H) thin films on polycarbonate substrates by PECVD method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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