The time-resolved two-dimensional profile of a radiofrequency capacitively coupled plasma

T. Kitajima, M. Izawa, N. Nakano, T. Makabe

研究成果: Article査読

22 被引用数 (Scopus)

抄録

The temporal characteristics of 2D spatial images of the net excitation rate of argon 3p5 in a low-pressure capacitively coupled plasma (CCP) reactor driven at high frequency (13.56 MHz) are investigated by computer-assisted optical emission tomography for pressures ranging from 10 mTorr to 1.0 Torr. The radial uniformity and sustaining mechanism of the CCP are discussed on the basis of the absolute net excitation rate of Ar(3p5) in Ar for 13.56 MHz.

本文言語English
ページ(範囲)1783-1789
ページ数7
ジャーナルJournal of Physics D: Applied Physics
30
12
DOI
出版ステータスPublished - 1997 6月 21

ASJC Scopus subject areas

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 凝縮系物理学
  • 音響学および超音波学
  • 表面、皮膜および薄膜

フィンガープリント

「The time-resolved two-dimensional profile of a radiofrequency capacitively coupled plasma」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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