The time-resolved two-dimensional profile of a radiofrequency capacitively coupled plasma

T. Kitajima, M. Izawa, N. Nakano, T. Makabe

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「The time-resolved two-dimensional profile of a radiofrequency capacitively coupled plasma」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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