Theoretical study of a vacuum ultraviolet F2 excimer lamp (157 nm) excited by microwave discharge

Toshiro Hatakeyama, Fumihiko Kannari, Minoru Obara

研究成果: Article査読

14 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Theoretical study of a vacuum ultraviolet F2 excimer lamp (157 nm) excited by microwave discharge」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy