Three-dimensional photonic crystals fabricated by double-angled plasma etching

Shigeki Takahashi, Takeshi Nakamori, Makoto Okano, Masahiro Imada, Susumu Noda

研究成果: Conference contribution

抄録

Three-dimensional photonic crystals with a depth of two lattice constants are successfully fabricated by a two-stage angled plasma etching method. The sample showed ~90% reflectance and ~10dB attenuation around the photonic bandgap wavelength region.

本文言語English
ホスト出版物のタイトルConference on Lasers and Electro-Optics, CLEO 2007
出版社Optical Society of America
ISBN(印刷版)1557528349, 9781557528346
出版ステータスPublished - 2007 1 1
外部発表はい
イベントConference on Lasers and Electro-Optics, CLEO 2007 - Baltimore, MD, United States
継続期間: 2007 5 62007 5 6

出版物シリーズ

名前Optics InfoBase Conference Papers
ISSN(電子版)2162-2701

Other

OtherConference on Lasers and Electro-Optics, CLEO 2007
国/地域United States
CityBaltimore, MD
Period07/5/607/5/6

ASJC Scopus subject areas

  • 器械工学
  • 原子分子物理学および光学

フィンガープリント

「Three-dimensional photonic crystals fabricated by double-angled plasma etching」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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