Tomographic Imagings of a Plasma Structure and Sputtered Particle in a Direct Current Magnetron Discharge

A. Itoh, T. Makabe, N. Shimura, S. Tougo

研究成果: Article査読

15 被引用数 (Scopus)

抄録

Computer-aided tomographic imagings for optical emission and absorption have been performed by using a four-axis industrial robot. The robotic system is applied to the investigation of a dc magnetron discharge for sputtering. It enables the visualization of a three-dimensional discharge structure, and the estimation of the two-dimensional thickness of a deposited film.

本文言語English
ページ(範囲)109-110
ページ数2
ジャーナルIEEE Transactions on Plasma Science
24
1
DOI
出版ステータスPublished - 1996
外部発表はい

ASJC Scopus subject areas

  • 核物理学および高エネルギー物理学
  • 凝縮系物理学

フィンガープリント

「Tomographic Imagings of a Plasma Structure and Sputtered Particle in a Direct Current Magnetron Discharge」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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