Tomographic Imagings of a Plasma Structure and Sputtered Particle in a Direct Current Magnetron Discharge

A. Itoh, T. Makabe, N. Shimura, S. Tougo

研究成果: Article査読

15 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Tomographic Imagings of a Plasma Structure and Sputtered Particle in a Direct Current Magnetron Discharge」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy