Two-dimensional density distribution of metastable atoms in an inductively coupled plasma in Ar

Masahiro Tadokoro, Hajime Hirata, Nobuhiko Nakano, Zoran Lj Petrović, Toshiaki Makabe

研究成果: Article査読

58 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Two-dimensional density distribution of metastable atoms in an inductively coupled plasma in Ar」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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