Ultraprecision machining of single-crystal silicon using a slow tool servo for infrared microlens arrays

Mao Mukaida, Jiwang Yan

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Ultraprecision machining of single-crystal silicon using a slow tool servo for infrared microlens arrays」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。